開路輸出電壓

±0.5~1000

±0.5~2500

±0.5~5000

±0.5~6250

±0.5~7500

V

開路最小電壓步長

0.1

0.1

0.1

0.1

0.1

V

短路輸出電流

±0.01~20

± 0.01~50

±0.01~100

±0.01~125

±0.01~150

A

電壓精度

精度可在1–10 %之間調(diào)節(jié)

%

速度/精度軟件可調(diào)

最快上升時間*         （默認20-80%）

≤50

≤200

≤300

≤300

≤300

ps

特殊配置可提供10-90%最快至40 ps 的上升時間

上升時間范圍

0.05~1200

0.2~1200

0.3~1200

0.3~1200

0.3~1200

ns

上升時間選項

無限的可編程或手動選項

可定制

脈寬   （默認50-50%）

100±1

ns

默認

最小脈寬

0.5

1

5

5

5

ns

最大脈寬

2000

2000

1500

1500

1000

ns

脈寬選項

無限的可編程或手動選項

可定制

測試速度

通常0.2~2

s

因硬件設置而異

尺寸

347WX300DX145H

mm

可能因定制而改變

重量

8

8

8

10

12

kg

支持的示波器

Tektronix，Agilent，LeCroy，Rigol的主要系列

其他可根據(jù)要求支持

支持 的SMU

Keithley 24xx/26xx系列SMU

其他可根據(jù)要求支持

IEC等效等級

6

12

24

30

36

kV

HMM 峰值電流

22.5

45

90

112.5

135

A

3.75A每1kV≤±10%

IEC 61000-4-2 (R=330?, C=150pF)

HMM 電流 @ 30ns

12

24

48

60

72

A

≤±10% (優(yōu)于±30%IEC)

HMM 電流 @ 60ns

6

12

24

30

36

A

≤±10% (優(yōu)于±30%IEC)

最大 HBM測試等級

±2

±4

±8

±10

±12

kV

最小HBM 測試等級

± 50

V

最小測試步長

1

V

通過USB，用PCB控制

電荷泄放電阻

10K

Ohm

電壓輸出靈敏度

1/201

V/V

注入50 Ohm時誤差小于± 3%

電流傳感器靈敏度

1

V/A

注入50 Ohm時誤差小于± 3%

測試速度

>=1

S

根據(jù)標準，最大1P/s

物理尺寸

90X90X130

mm

TLP IV曲線系統(tǒng)基礎配置

1.1

ES622-20

ES622 TLP脈 IV曲線系統(tǒng)，20A基礎單元

1.2

ES622-25

ES622 TLP脈沖IV曲線系統(tǒng)，25A基礎單元

1.3

ES622-40

ES622 TLP脈沖IV曲線系統(tǒng)，40A基礎單元

1.4

ES622-50

ES622 TLP脈沖IV曲線系統(tǒng)，50A基礎單元

1.5

ES622-100

ES622 TLP脈沖IV曲線系統(tǒng)，100A基礎單元

1.6

ES622-125

ES622 TLP脈沖IV曲線系統(tǒng)，125A基礎單元

1.7

ES622-150

ES622 TLP脈沖IV曲線系統(tǒng)，150A基礎單元

上升時間選項 (僅作為案例配置展示，可供定制)

2.1

ES62x-PRT4

可編程的4個脈沖上升時間過濾器模塊
   (默認:   內(nèi)置1ns、5ns、10ns可定制)

2.2

ES62x-PRT10

可編程的10個脈沖上升時間過濾器模塊
     (默認:   內(nèi)置0.5ns、1ns、2ns、5ns、10ns、20ns可定制)

2.3

ES62x-ERTF

手動外部上升時間過濾器

脈寬選項(僅作為案例配置展示，可供定制)

3.1

ES620-PPL4

可編程的4個內(nèi)置脈寬模塊

3.2

ES620-PPL10

可編程的10個內(nèi)置脈寬模塊

3.3

ES620-MPLEx

手動脈寬外部變動選項

外置脈沖模塊選項

4.1

ES62X-HBM2

人體模型 (HBM) ESD脈沖模塊及測試設置選項

(ANSI/ESDA/JEDEC JS-001脈沖測試及IV測量)

4.2

ES62X-HMM2

人體金屬模型(HMM) ESD脈沖模塊及測試設置選項

(IEC61000-4-2脈沖測試及IV測量)

4.3

ES62X-MM2

機器模型(MM) ESD脈沖模塊及測試設置選項

(ANSI/ESDA SP5.2脈沖測試及IV測量)

漏電或直流IV測量選項

5.1

ES62X-SSM

系統(tǒng)開關(guān)模塊(在脈沖及直流測試間切換)

5.2

ES62X-STP1

SMU 瞬態(tài)保護器

直流偏置測量選項

6.1

BT-100V2A6G

TLP測試偏置三通，10kHz – 6GHz，100V，2A DC/10A脈沖電流

6.2

BT-100V4A3G

TLP測試偏置三通，10kHz – 3GHz，100V，4A DC/20A脈沖電流

6.3

BT-450V2A5G

TLP測試偏置三通，10kHz – 5GHz，450V，2A DC/10A脈沖電流

ESD 注入及IV曲線測量選項

7.1

ES62X-PSTT

用于封裝級標準TLP測試的TDR-O測試裝置

7.2

ES62X-PVFTT

用于封裝級VF-TLP測試的TDR-S測試裝置

7.3

ES62X-CMPS

簡易式手動探針臺，配有可靈活移動的真空泵和顯微鏡

7.4

ES62X-WSTT

用于晶圓級標準TLP測試的TDR-O測試裝置，含探針座

7.5

ES62X-WVFTT

用于晶圓級VF-TLP測試的TDR-S測試裝置，含探針座

與TLP系統(tǒng)匹配的示波器

8.1

MISC-OSC1

數(shù)字示波器( 1GHz，5Gs，4通道，推薦用于標準TLP測試)

8.2

MISC-OSC6

數(shù)字示波器( 6GHz，5Gs，4通道，推薦用于VF-TLP測試)